高精密機械定位平台─子計畫二：系統機構及六自由度位置誤差量測(III)
Date Issued
1998
Date
1998
Author(s)
范光照
DOI
872212E002003
Abstract
本研究報告為國科會整合研究計
劃「高精密機械定位平台」中之子計劃
二「系統機構及六自由度位置誤差量
測」的第三年研究成果，第一年度已完
成系統架構靜動態特性分析與單運動
軸的光學量測測試。第二年度已完成系
統架構的性能測試，包括雙軸運動平台
的設計及其誤差量測系統的規劃與性
能的評估。本年度之研究主題為完成系
統機構之製造與組裝、大行程平台和微
動平台與六自由度誤差量測系統之整
合，以及與其他二子計畫共同完成之高
精密定位平台進行整機功能測試、系統
校正與整機成效檢討。
本年度之報告結合其他二子計畫之
研究成果。研究成果包括完成整機組件
的設計圖與組合圖，大平台機構方面
完成了整機架構、空氣軸承的安
裝機構及相關零組件的製作。並
組合大平台、微動平台及雙運動軸
之六自由度誤差光學量測系統，完成本
子計畫的測試。此部份已發展出一可同
時量測雙運動軸的六自由度誤差量測
系統，本量測系統可量取X軸定位、Y
軸定位、垂直方向的直線度、水平方向
的直線度、滾動度誤差偏搖度及俯仰度
誤差。最後並結合其他二子計畫完成此
高精密定位平台的系統機構及六自由
度位置誤差量測。
關鍵詞：結構最佳化、誤差預算分析、
微定位平台、X-Y定位平台、雷射都卜
勒位移量測、六自由度誤差、運動精
度。
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
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