燃燒合成SiC及SiO2薄膜之形成機制研究

Date Issued

2003

Date

2003

Author(s)

馬小康

DOI

912212E002093

URI

http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15845

Publisher

臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所

Type

report

File(s)

Name

912212E002093.pdf

Size

11.82 MB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):6cbb304e2204a0c3c98702ad86be376d