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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
具高度差之晶圓在化學機械研磨機中之研磨機制與研磨參數研究
Details
具高度差之晶圓在化學機械研磨機中之研磨機制與研磨參數研究
Date Issued
2000
Date
2000
Author(s)
陳達仁
DOI
892212E002022
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15670
Abstract
本研究計畫旨在建立化學機械研磨之晶圓研磨 模型，其中將考慮晶圓表面高度差對研磨的關係; 並研究研磨參數的變化對於研磨特性之影響。 文中所建立之化學機械研磨模型，將焦點放在研 磨的機械效應上。首先建立一個化學機械研磨之研 磨模型，考慮晶片表面高度差經由研磨而減少，進 而提出一個與時間相關的研磨速率公式。在研磨運 動的研究上，建立了一個開迴路操作器的模型。由 此等效模型，進而求得研磨速率的表示式;並將研 磨速率表現為化學機械研磨機之幾何外型、轉速比 及研磨墊轉速的函數。此外，配合實驗的資料，以 取得必要的研磨參數，建立完整的研磨模型。 利用研磨模型，可以求得研磨時間、研磨厚度及 平坦化效率的表示式。其中，研磨時間、研磨厚度 及平坦化效率，能夠顯示化學機械研磨在局部點的 研磨行為。另一方面，全面平坦化的均勻性和研磨 參數間的關係，也能夠求得。最後將提出這些研磨 參數變化的效果，以及所造成的影響，說明研磨參 數調整的方向。本計畫的結果，能提供一個有效的 預測和改善化學機械研磨製程。
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Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
File(s)
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Name
892212E002022.pdf
Size
100.94 KB
Format
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(MD5):771d6f976f90064302a7cc07bf17ef72
