奈米級雙軸定位平台的研製(1/3)
Date Issued
2004
Date
2004
Author(s)
范光照
DOI
922212E002038
Abstract
本計畫為國科會多年期研究計畫『奈米
級雙軸平台之研製』第一年研究成果報告。
其中包含了三部分,第一部份:雙軸平台本
身結構之設計;第二部分:壓電陶瓷線性馬
達(Piezo Ceramic Linear Motor, PCLM)驅動
器之研製;第三部分,平面光學尺光路之設
計。本年度計畫之研究結果以順利完成第一
年度的預期進度,並將順利進展第二年進
度。
Subjects
雙軸平台
壓電陶瓷線性馬達
平
面光學尺
面光學尺
Publisher
臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
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Name
922212E002038.pdf
Size
78.1 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):5a19dcdd3c26c46061e55e59e91de2e9
