Studies on the chemical-mechanical polishing characterization of low dielectric constant polymers

Date Issued

2001

Date

2001

Author(s)

DOI

892214E002047

URI

http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9257

Subjects

化學機械研磨

低介電常數高分子

研磨粉體

界面活性劑

Publisher

臺北市：國立臺灣大學化學工程學系暨研究所

Type

report

File(s)

Name

892214E002047.pdf

Size

370.96 KB

Format

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Checksum

(MD5):420c788a8e257730dc6802b03810895f