https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/289972
標題: | Translating fab cycle time and output targets into production control requirements for tool groups | 作者: | Hu, M.-D. Chang, S.-C. SHI-CHUNG CHANG |
公開日期: | 2000 | 起(迄)頁: | 73-83 | 來源出版物: | 2000 Semiconductor Manufacturing Technology Workshop | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84963753730&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/289972 |
DOI: | 10.1109/SMTW.2000.883087 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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