https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/294532
標題: | Optical-Constant Tunable (ZrO<sub>2</sub>)<sub>x</sub>/(Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)<sub>y</sub>/(Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)<sub>1-x-y</sub> Optical Superlattice for APSM in ArF Lithography | 作者: | F. D. Lai L. A. Wang LON A. WANG |
公開日期: | 十一月-2001 | 卷: | 19 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 2617-2620 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/294532 | DOI: | 10.1116/1.1408951 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。