https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/294535
標題: | Optical-constant Tunable AlO/CrO/ZrO Optical Superlattices for APSM working in ArF Lithography | 作者: | L. A. Wang F.D. Lai LON A. WANG |
公開日期: | 一月-2001 | 起(迄)頁: | 31-32 | 來源出版物: | 45th EIPBN | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/294535 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
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