https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302763
標題: | Hydrogen plasma processing of GaAs and AlGaAs | 作者: | Choquette, Kent D Freund, RS MINGHWEI HONG Luftman, HS Chu, SNG Mannaerts, JP Wetzel, RC |
公開日期: | 1993 | 卷: | 11 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 2025-2032 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science & Technology B | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302763 |
顯示於: | 應用物理研究所 |
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