https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302775
標題: | Rapid post-metallization annealing effects on high-k Y 2 O 3/Si capacitor | 作者: | Lay, TS Liao, YY Liu, WD Lai, YH Hung, Wei-Hsiu Kwo, J Hong, M Mannaerts, JP MINGHWEI HONG |
公開日期: | 2003 | 卷: | 47 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 1021-1025 | 來源出版物: | Solid-State Electronics | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302775 |
顯示於: | 應用物理研究所 |
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