https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/304318
標題: | Ultrathin TiO<sub>2</sub> amorphous films for high transmittance APSM blanks at 157 and 193 nm wavelength simultaneously | 作者: | F. D. Lai, C. M. Chang, L. A. Wang, T. S. Yih, LON A. WANG |
公開日期: | 十一月-2003 | 卷: | 21 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 3062-3066 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/304318 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
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