https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/321881
標題: | Enhanced nitrogen incorporation and improved breakdown endurance in nitrided gate oxides prepared by anodic oxidation followed by rapid thermal nitridation in N2O | 作者: | Jeng, M.-J. Hwu, J.-G. JENN-GWO HWU |
公開日期: | 1996 | 卷: | 69 | 期: | 25 | 起(迄)頁: | 3875-3877 | 來源出版物: | Applied Physics Letters | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0000228733&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/321881 |
DOI: | 10.1063/1.117134 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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