https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/329949
標題: | New temperature compensation method for Si wafers in rapid thermal processor using separated Si rings as susceptors | 作者: | JENN-GWO HWU | 公開日期: | 1997 | 卷: | 470 | 起(迄)頁: | 187-192 | 來源出版物: | Materials Research Society Symposium - Proceedings | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0031357581&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/329949 |
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