https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/330402
標題: | Young's modulus of high aspect ratio Si3N4 nano-thickness membrane | 作者: | Chen, P.-H. Yang, C.-H. Tsai, C.-Y. Chang, T.-L. Hsu, W.-C. PING-HEI CHEN |
公開日期: | 2007 | 起(迄)頁: | 1341-1344 | 來源出版物: | 2007 7th IEEE International Conference on Nanotechnology | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-52949144254&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/330402 |
DOI: | 10.1109/NANO.2007.4601367 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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