https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/333902
標題: | Development of SiN<sub>x</sub> Films for Attenuated Phase Shifting Masks | 作者: | H. L. Chen L. A. Wang L. S. Yeh C. W. Hsu LON A. WANG |
公開日期: | 一月-1997 | 起(迄)頁: | 677-680 | 來源出版物: | Optics and Photonics Taiwan '01 | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/333902 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
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