https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/339277
標題: | An Experimental Investigation on Silicon Wafer Thinning Process | 作者: | Chuan-Chieh Lin Hong-Tsu Young Jing-Pou Zhan |
公開日期: | 2008 | 卷: | 29卷 | 期: | 5期 | 起(迄)頁: | 405-412 | 來源出版物: | 中國機械工程學刊 | URI: | http://www.airitilibrary.com/Publication/Index/02579731-200810-29-5-405-412-a http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/339277 |
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