https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/340731
標題: | An electro-magnetic micromachined actuator monolithically integrated with a vertical shutter for variable optical attenuation | 作者: | Hung, S.H. Hsieh, H.-T. John Su, G.-D. GUO-DUNG JOHN SU |
公開日期: | 2008 | 卷: | 18 | 期: | 7 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-47249129342&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/340731 |
DOI: | 10.1088/0960-1317/18/7/075003 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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