https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/348469
標題: | Characterization of dressing behaviors and optimization technique in chemical mechanical polishing | 作者: | Chen, K.R. Young, H.T. Chen, K.R. Young, H.T. HONG-TSU YOUNG |
公開日期: | 2009 | 卷: | 19 | 期: | 7 | 起(迄)頁: | 61-71 | 來源出版物: | ECS Transactions | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-73949107984&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/348469 |
DOI: | 10.1149/1.3123775 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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