https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350104
標題: | Vertical electrothermal actuator with separated metal and nitride structural layers | 作者: | Tsai, J.-C. Lai, R.-J. Yin, C.-Y. Chen, D.-S. Shen, C.-K. Chang, Y.-T. JUI-CHE TSAI |
公開日期: | 2009 | 卷: | 8 | 期: | 2 | 來源出版物: | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-79960058626&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350104 |
DOI: | 10.1117/1.3100208 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
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