https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350106
標題: | Experimental characterization of two-axis MEMS scanners with hidden radial vertical combdrive actuators and cross-bar spring structures | 作者: | Tsai, J.-C. Hsieh, T.-L. Liao, C.-D. Chiou, S.-J. Hah, D. Wu, M.C. JUI-CHE TSAI |
公開日期: | 2009 | 卷: | 19 | 期: | 4 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-68849093108&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350106 |
DOI: | 10.1088/0960-1317/19/4/045002 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
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