https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350126
標題: | Silicon waveguide sidewall smoothing by KrF excimer laser reformation | 作者: | Hung, S.-C. Liang, E.-Z. Lin, C.-F. CHING-FUH LIN |
公開日期: | 2009 | 卷: | 27 | 期: | 7 | 起(迄)頁: | 887-892 | 來源出版物: | Journal of Lightwave Technology | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-65749101958&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350126 |
DOI: | 10.1109/JLT.2008.923240 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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