https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350139
標題: | Fabrication of crystalline Si spheres with atomic-scale surface smoothness using homogenized KrF excimer laser reformation system | 作者: | Hung, Shih-Che Shiu, Shu-Chia Chao, Cha-Hsin Lin, Ching-Fuh CHING-FUH LIN |
公開日期: | 2009 | 卷: | 27 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 1156-1160 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-79953859779&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350139 |
DOI: | 10.1116/1.3137963 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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