https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/358079
標題: | An automatic optical simulation-based lithography hotspot fix flow for post-route optimization | 作者: | Tong, Y.-S. Chen, S.-J. SAO-JIE CHEN |
公開日期: | 2010 | 卷: | 29 | 期: | 5 | 起(迄)頁: | 671-684 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-77951694212&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/358079 |
DOI: | 10.1109/TCAD.2010.2043756 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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