https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359321
標題: | Fabrication of metrology test structures with programmed line edge roughness using electron beam direct write | 作者: | Fu-Min Wang Kuen-Yu Tsai Jia-Han Li Alek C. Chen Yen-Min Lee Yu-Tian Shen Hsin-Hung Cheng Chieh-Hsiang Kuan KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 十一月-2010 | 起(迄)頁: | 12D-11-58 | 來源出版物: | International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2010 | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359321 | DOI: | 10.1117/12.814181 |
顯示於: | 電機工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。