https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/364951
標題: | Formation of cylindrical profile of Si by KrF excimer laser system for optical interconnect | 作者: | Hung, S.-C. Shiu, S.-C. Chao, J.-J. CHING-FUH LIN |
公開日期: | 2011 | 起(迄)頁: | 5-8 | 來源出版物: | IEEE Conference on Nanotechnology | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84858968032&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/364951 |
DOI: | 10.1109/NANO.2011.6144570 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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