https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/366470
標題: | Non-delta-chrome optical proximity correction methodology for process models with three-dimensional mask effects | 作者: | Philip C. W. Ng Kuen-Yu Tsai Lawrence S. Melvin III KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 九月-2011 | 卷: | 10 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 033010 | 來源出版物: | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/366470 | DOI: | 10.1117/1.3616043 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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