https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/366473
標題: | Optical metrology of shape-varying nano-patterned gratings by analyzing the scattering signals in their pupil images | 作者: | Yen-Min Lee Jia-Han Li Fu-Min Wang Hsin-Hung Cheng Yu-Tian Shen Kuen-Yu Tsai Alek C. Chen KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 十月-2011 | 起(迄)頁: | 26P-7-4 | 來源出版物: | International Microprocesses and Nanotechnology Conference | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/366473 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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