https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/393137
標題: | Layout decomposition for Spacer-is-Metal (SIM) self-aligned double patterning | 作者: | Fang, S.-Y. Tai, Y.-S. Chang, Y.-W. YAO-WEN CHANG |
公開日期: | 2015 | 起(迄)頁: | 671-676 | 來源出版物: | 20th Asia and South Pacific Design Automation Conference, ASP-DAC 2015 | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84926435602&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/393137 |
DOI: | 10.1109/ASPDAC.2015.7059085 |
顯示於: | 電子工程學研究所 |
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