https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/411555
DC 欄位 | 值 | 語言 |
---|---|---|
dc.contributor | 張培仁 | - |
dc.contributor.author | 張培仁 | zh-TW |
dc.contributor.author | 李其源 | zh-TW |
dc.contributor.author | 吳政忠 | zh-TW |
dc.contributor.author | 陳永裕 | zh-TW |
dc.contributor.author | 鄭英周 | zh-TW |
dc.contributor.author | 鮑世勇 | zh-TW |
dc.contributor.author | 陳炳煇 | zh-TW |
dc.contributor.author | 顏凱翔 | zh-TW |
dc.coverage.temporal | 2009/11/11~2027/3/1 | - |
dc.creator | 顏凱翔;鮑世勇;鄭英周;陳永裕;吳政忠;李其源;張培仁;陳炳煇 | - |
dc.date.accessioned | 2019-06-26T07:37:03Z | - |
dc.date.available | 2019-06-26T07:37:03Z | - |
dc.date.issued | 2004 | - |
dc.identifier.uri | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/411555 | - |
dc.language | zh-TW | - |
dc.title | 濕蝕刻矽薄膜之厚度即時監控方法 | zh_TW |
dc.type | Patent | en |
dc.identifier.patentno | 中華民國專利 發明第 205620號 | - |
item.openairetype | Patent | - |
item.fulltext | no fulltext | - |
item.openairecristype | http://purl.org/coar/resource_type/c_18cf | - |
item.grantfulltext | none | - |
item.cerifentitytype | Publications | - |
crisitem.author.dept | Mechanical Engineering | - |
crisitem.author.orcid | 0000-0002-8073-9344 | - |
crisitem.author.parentorg | College of Engineering | - |
顯示於: | 機械工程學系 |
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