https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/429885
標題: | Fabrication of metrology test structures with helium ion beam direct write | 作者: | Chien-Lin Lee Sheng-Wei Chien Sheng-Yung Chen Chun-Hung Liu Kuen-Yu Tsai* Jia-Han Li Bor-Yuan Shew Chit-Sung Hong Chao-Te Lee JIA-HAN LI |
公開日期: | 2017 | 起(迄)頁: | 1574-1579 | 來源出版物: | Advanced Lithography 2017 - Proceedings of SPIE | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/429885 | ISSN: | 0277786x | DOI: | 10.1117/12.2257989 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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