https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/443465
標題: | Rapid post-metallization annealing effects on high-k Y<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/Si capacitor | 作者: | Lay, T.S. Liao, Y.Y. Liu, W.D. Lai, Y.H. Hung, W.H. Kwo, J. Hong, M. Mannaerts, J.P. MINGHWEI HONG |
公開日期: | 2003 | 卷: | 47 | 起(迄)頁: | 1021-1025 | 來源出版物: | Solid-State Electronics | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/443465 | ISBN: | 10.1016/S0038-1101(02)00467-7 |
顯示於: | 物理學系 |
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