https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486871
標題: | In-situ micro strain gauges for measuring residual strain of three cmos thin films using only one maskless post-processing step | 作者: | Dai, C.-L. PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 1997 | 卷: | 20 | 期: | 5 | 起(迄)頁: | 539-548 | 來源出版物: | Journal of the Chinese Institute of Engineers, Transactions of the Chinese Institute of Engineers,Series A/Chung-kuo Kung Ch'eng Hsuch K'an | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486871 | DOI: | 10.1080/02533839.1997.9741860 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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