https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486873
標題: | Design and processing of integrated micro accel-erometers using standard cmos process | 作者: | Dai, C.-L. Lu, S.-S. Chang, P.-Z. PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 1997 | 卷: | 20 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 47-55 | 來源出版物: | Journal of the Chinese Institute of Engineers, Transactions of the Chinese Institute of Engineers,Series A/Chung-kuo Kung Ch'eng Hsuch K'an | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486873 | DOI: | 10.1080/02533839.1997.9741805 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。