https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/60015
標題: | Macromodels of 3D lateral viscous damping effects for MEMS devices | 作者: | Yen, Po-Ching Yang, Yao-Joe |
公開日期: | 六月-2003 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041910042924 | ISSN: | N/A | 其他識別: | N/A |
顯示於: | 機械工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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