https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/60036
標題: | Modeling gas damping and spring phenomena in MEMS with frequency dependent macro-models | 作者: | Yang, Yao-Joe Kamon, Mattan Rabinovich, V.L. Ghaddar, Chahid Deshpande, Manish Greiner, Ken Gilbert, J.R. |
公開日期: | 一月-2001 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | The 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041910021270 | 其他識別: | N/A | DOI: | 10.1109/MEMSYS.2001.906554 |
顯示於: | 機械工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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