https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/60060
標題: | The modeling and control of the cluster tool in semiconductor fabrication | 作者: | Huang, Han-Pang Wang, Che-Lung |
公開日期: | 2001 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | IEEE International Conference on Robotics and Automation | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041910021243 | 其他識別: | 1050-4729 | DOI: | 10.1109/ROBOT.2001.932874 |
顯示於: | 機械工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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