https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/61427
標題: | A measurement system for the geometric accuracy of X-Y stages in 6 d-o-f | 作者: | 范光照 Chen, M.J. Fan, K. C. |
公開日期: | 八月-1999 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | Keynote paper | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/156426 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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