https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/61610
標題: | A MEMS micromirror fabricated using CMOS post-process | 作者: | Cheng, Ying-Chou Dai, Ching-Liang Lee, Chi-Yuan Chen, Ping-Hei Chang, Pei-Zen |
公開日期: | 2005 | 卷: | 120 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 573-581 | 來源出版物: | Sensors and Actuators A: Physical | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/85693 http://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/85693/1/04.pdf |
DOI: | 10.1016/j.sna.2005.02.009 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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