https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/61612
標題: | A Novel Method for Evaluating the Thickness of Silicon Membrane Using a Micromachined Acoustic Wave Sensor | 作者: | Lee, Chi-Yuan Cheng, Ying-Chou Wu, Tsung-Tsong Chen, Yung-Yu Chen, Wen-Jong Pao, Shih-Yung Chang, Pei-Zen Chen, Ping-Hei Yen, Kai-Hsiang Xiao, Fu-Yuan |
公開日期: | 2004 | 卷: | 7 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 61-66 | 來源出版物: | Tamkang Journal of Science and Engineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/85695 http://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/85695/1/17.pdf |
顯示於: | 機械工程學系 |
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