https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/62260
標題: | Microstructures for Measuring Residual Strains of CMOS Thin Film | 作者: | Chang, P. Z. Dai, C. L. Lu, S. S. |
公開日期: | 十一月-1997 | 卷: | v. 2 | 起(迄)頁: | 981-986 | 來源出版物: | Proc. Int. Conf. Precision Engineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/156614 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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