https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/62381
標題: | The characteristic behavior of TMAH water solution for anisotropic etching on both Silicon substrate and SiO2 layer | 作者: | Chen, P.-H. Peng, H.-Y. Hsieh, J.-M. Chyu, M. K. |
公開日期: | 2001 | 起(迄)頁: | Physcia-l | 來源出版物: | Sensors and Actuators A | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/85704 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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