https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/62396
標題: | Ultra-deep LIGA process and its applications | 作者: | Cheng, Y Cheng, Y. Shewa, B. -Y. Shew, BY Chyu, MK Chyu, M. K. Chen, PH Chen, P. H. |
公開日期: | 2001 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment 467-468: 1192-1197 | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/85721 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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