https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/62495
標題: | 布氏法晶體生長之奇異面
生成之三維動態模擬 Three-Dimensional Transient Simulation of Facet Formation and Its Coupled Heat Flow and Segregation in Bridgman Crystal Growth |
作者: | 陳政榮 Chen, Cheng-Jung |
關鍵字: | 奇異面;布氏法;有效偏析係數;三維動態模擬;三維非穩態模擬;facet;segregation coefficient;Bridgman;three dimensional transient simulation | 公開日期: | 2006 | 摘要: | 晶體生長的過程中,奇異面的形成會影響單晶品質。此外,Hulme 與 Mullin發現奇異面形成對於有掺雜的晶體會使得有效偏析係數在奇異面大於非奇異面(J. B. Mullin, K. F. Hulme, J. Phys. Chem. Solids 17 (1960) 1.)。因此本文以界面動力學為基礎,探討以垂直布氏法生長單晶之奇異面形成。模擬三維非穩態奇異面{111}、{211}、{110}的三維非穩態計算,並且對奇異面形成而影響晶體濃度分佈作討論。 我們採用兩種不同的處理方法來模擬奇異面生長的動態情形,第一種為假設奇異面在巨觀上為一平坦的表面,用幾何上的處理方法使得面上的最大過冷度滿足界面動力學關係式,我們稱為Geometric model;另一種方法是考慮多種與奇異面生長有關的動力學參數,利用界面動力學的理論將界面移動速度作離散而獲得奇異面,我們稱為Geometric model。此外,我們將不同模式的非穩態奇異面模擬結果的差異作比較。 此外,我們探討奇異面生長造成晶體濃度分佈的影響,同時藉由實驗所觀察到奇異面上的有效偏析係數不同於粗糙面所帶來的效應,進行非穩態的奇異面模擬。本文最後成功地模擬出多重奇異面的結果,可以更真實地預測多種奇異面的生長,使得模擬結果更接近實際的情形,更能進一步地探討奇異面影響晶體濃度的效應。 Facet formation is a common phenomenon observed in melt or vapor growth. Because of that the segregation on facets occurs in a manner and the segregation coefficient can differ dramatically from that on a rough surface, the facet formation will effect the dopant concentration field in the grown crystal. Three-dimensional (3D) transient simulation of facet an its coupled heat flow and segregation in Bridgman growth of oxide crystals is presented. We used two kind of method to treat the interface which facet format on, and compared the difference between them. Furthermore, the simulation successfully reveals experimental observations, and the effects of crystal growth surroundings on the facet sizes are also investigated. Besides of the simulation of single kind facet on surface, the results of multi-facets are also presented. We also evaluate the dopant concentration field in the grown crystal when the facets are at different crystallographic plane. |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/52262 | 其他識別: | zh-TW |
顯示於: | 化學工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
---|---|---|---|---|
ntu-95-R93524022-1.pdf | 23.53 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。