https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/63078
標題: | Vibration control of an electron beam projection lithography system employing disturbance response decoupling techniques | 作者: | Wang, Fu-Cheng Tsao, Yo-Chia Yen, Jia-Yush |
公開日期: | 2008 | 起(迄)頁: | 152-153 | 來源出版物: | 21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/246682 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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