https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/63896
標題: | 由石化原料製備深次微米IC工業等用化學品(II)─子計畫一:由MMA系列共聚合物製備193NM DEEP UV光阻劑 | 作者: | 謝國煌 | 公開日期: | 1999 | 出版社: | 臺北市:國立臺灣大學化學工程學系暨研究所 | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9210 | 其他識別: | 88CPCE002007 | Rights: | 國立臺灣大學化學工程學系暨研究所 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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