https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/63896
Title: | 由石化原料製備深次微米IC工業等用化學品(II)─子計畫一:由MMA系列共聚合物製備193NM DEEP UV光阻劑 | Authors: | 謝國煌 | Issue Date: | 1999 | Publisher: | 臺北市:國立臺灣大學化學工程學系暨研究所 | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9210 | Other Identifiers: | 88CPCE002007 | Rights: | 國立臺灣大學化學工程學系暨研究所 |
Appears in Collections: | 化學工程學系 |
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