https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/64488
Title: | 微尺度單晶矽之疲勞特性研究 | Authors: | 周元昉 | Keywords: | 疲勞;微加工;單晶矽 | Issue Date: | 1999 | Publisher: | 臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | Abstract: | 本計畫設計一套進行微尺度單晶矽疲 勞試驗的方法。疲勞試片為250 mm 長的 單晶矽懸臂樑,試片係在(100)晶片上以微 加工技術製成,懸臂樑的軸向為<110>, 樑的自由端以一個銅片與PVDF 的荷重元 量測外力,荷重元以傳統加工方式製成。 此系統經測試後證實可行;未來將進一部 求得微尺度單晶矽正確的疲勞特性。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15621 | Other Identifiers: | 882212E002009 | Rights: | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 |
Appears in Collections: | 機械工程學系 |
File | Description | Size | Format | |
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