DC 欄位 | 值 | 語言 |
dc.contributor | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | zh_TW |
dc.contributor.author | 周元昉 | zh_TW |
dc.creator | 周元昉 | zh_TW |
dc.date | 1999 | zh_TW |
dc.date.accessioned | 2006-07-25T11:37:39Z | - |
dc.date.accessioned | 2018-06-28T17:23:32Z | - |
dc.date.available | 2006-07-25T11:37:39Z | - |
dc.date.available | 2018-06-28T17:23:32Z | - |
dc.date.issued | 1999 | - |
dc.identifier | 882212E002009 | zh_TW |
dc.identifier.uri | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15621 | - |
dc.description.abstract | 本計畫設計一套進行微尺度單晶矽疲
勞試驗的方法。疲勞試片為250 mm 長的
單晶矽懸臂樑,試片係在(100)晶片上以微
加工技術製成,懸臂樑的軸向為<110>,
樑的自由端以一個銅片與PVDF 的荷重元
量測外力,荷重元以傳統加工方式製成。
此系統經測試後證實可行;未來將進一部
求得微尺度單晶矽正確的疲勞特性。 | zh_TW |
dc.format | application/pdf | zh_TW |
dc.format.extent | 106638 bytes | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language | zh-TW | zh_TW |
dc.language.iso | zh_TW | - |
dc.publisher | 臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | zh_TW |
dc.rights | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | zh_TW |
dc.subject | 疲勞 | zh_TW |
dc.subject | 微加工 | zh_TW |
dc.subject | 單晶矽 | zh_TW |
dc.title | 微尺度單晶矽之疲勞特性研究 | zh_TW |
dc.type | report | en |
dc.identifier.uri.fulltext | http://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15621/1/882212E002009.pdf | - |
dc.coverage | 計畫年度:88;起迄日期:1998-08-01/1999-07-31 | zh_TW |
item.openairecristype | http://purl.org/coar/resource_type/c_93fc | - |
item.openairetype | report | - |
item.languageiso639-1 | zh_TW | - |
item.grantfulltext | open | - |
item.cerifentitytype | Publications | - |
item.fulltext | with fulltext | - |
顯示於: | 機械工程學系
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