https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/64538
標題: | 具高度差之晶圓在化學機械研磨機中之研磨機制與研磨參數研究 | 作者: | 陳達仁 | 公開日期: | 2000 | 出版社: | 臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | 摘要: | 本研究計畫旨在建立化學機械研磨之晶圓研磨 模型,其中將考慮晶圓表面高度差對研磨的關係; 並研究研磨參數的變化對於研磨特性之影響。 文中所建立之化學機械研磨模型,將焦點放在研 磨的機械效應上。首先建立一個化學機械研磨之研 磨模型,考慮晶片表面高度差經由研磨而減少,進 而提出一個與時間相關的研磨速率公式。在研磨運 動的研究上,建立了一個開迴路操作器的模型。由 此等效模型,進而求得研磨速率的表示式;並將研 磨速率表現為化學機械研磨機之幾何外型、轉速比 及研磨墊轉速的函數。此外,配合實驗的資料,以 取得必要的研磨參數,建立完整的研磨模型。 利用研磨模型,可以求得研磨時間、研磨厚度及 平坦化效率的表示式。其中,研磨時間、研磨厚度 及平坦化效率,能夠顯示化學機械研磨在局部點的 研磨行為。另一方面,全面平坦化的均勻性和研磨 參數間的關係,也能夠求得。最後將提出這些研磨 參數變化的效果,以及所造成的影響,說明研磨參 數調整的方向。本計畫的結果,能提供一個有效的 預測和改善化學機械研磨製程。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15670 | 其他識別: | 892212E002022 | Rights: | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 |
顯示於: | 機械工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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892212E002022.pdf | 100.94 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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