https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/64689
標題: | Modeling and Emulation of a Furnace in IC Fab Based on Colored-Timed Petri Net | 作者: | Lin, S.Y. Huang, H.P. |
公開日期: | 八月-1998 | 卷: | 11 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 410-420 | 來源出版物: | IEEE Trans. on Semiconductor Manufacturing | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/86222 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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